최신 진공 코팅 장비에서 황삭 단계는 안정적인 고진공 성능을 달성하기 위한 중요한 기반입니다.- 널리 사용되는 구성은 루츠 펌프와 결합된 DLT.2V80 2{4}}단계 회전 날개 펌프입니다. 이 쌍은 챔버 압력을 대기 수준에서 낮은-진공 범위로 빠르게 감소시킬 수 있는 효율적인 사전-진공 장치를 형성하여 후속 고진공 펌핑 단계에 필요한 조건을 생성합니다.- 코팅 품질 유지, 장비 보호, 펌프 수명 연장을 위해서는 본 시스템의 올바른 작동 프로세스와 기술적 논리를 이해하는 것이 필수적입니다.
러핑 시스템은 단계적 펌핑 원리로 작동합니다. 2-스테이지 로터리 베인 펌프는 배압 펌프 역할을 하는 반면, 루츠 펌프는 중간{2}}~-낮은 진공 범위에서 높은 펌핑 속도를 제공합니다. 시동 중에-회전 날개 펌프는 먼저 챔버 압력을 낮춥니다. 압력이 루츠 펌프의 허용 시작 압력에 도달하면 루츠 펌프가 작동을 시작하여 가스 제거 속도가 크게 빨라집니다. 이러한 조정된 펌핑을 통해 챔버는 대기압에서 고진공 펌프(예: 확산 또는 터보분자 펌프)가 작동되기 전에 필요한 낮은-진공 범위로 빠르게 전환할 수 있습니다.
주요 공정 요구사항은 거친 펌핑 단계가 완료된 후에 발생합니다. 고진공으로 전환하거나 진공 유지 단계에 들어가기 전에 러핑 파이프라인을 비우고 압력-균형을 맞춰야 합니다. 이 단계는 종종 간과되지만 진공 역류를 방지하는 데 필수적입니다. 러핑 라인과 챔버 사이에 압력 차이가 남아 있으면 회전 날개 펌프의 진공 오일이 루츠 펌프 캐비티, 파이프라인 또는 코팅 챔버까지 뒤로 이동할 수 있습니다. 오일 오염은 박막 품질을 심각하게 손상시키고 가스 채널을 차단하며 유지 관리 비용을 증가시킬 수 있습니다.
챔버가 목표 저진공 수준에 도달하면 즉시 적절한 작동 절차가 시작됩니다. 챔버와 러핑 라인을 연결하는 메인 러핑 밸브를 먼저 닫아야 합니다. 이는 백킹 펌프 시스템에서 챔버를 격리하고 통제되지 않은 압력 변동을 방지합니다. 다음으로, 제어된 미세 압력 배출 공정을 위해 건조한 질소 또는 깨끗하고 건조한 압축 공기를 황삭 파이프라인에 도입해야 합니다. 이 단계는 습기나 오염물질의 유입 없이 파이프라인 내의 압력을 대기압에 가까운 수준으로 천천히 균등화합니다.
건조 질소는 불활성이고 수증기나 산소를 포함하지 않기 때문에 선호됩니다. 두 가지 모두 진공 오일의 품질을 저하시키고 내부 펌프 구성 요소를 오염시킬 수 있습니다. 질소를 사용할 수 없는 경우 오일 및 수분 트랩이 설치되어 있으면 필터링 및 건조된 압축 공기를 사용할 수 있습니다. 이 단계의 목표는 챔버를 완전히 환기시키는 것이 아니라 러핑 파이프라인 내부의 압력을 안정화하는 것입니다. 파이프라인 압력이 안전한 수준으로 돌아올 때만 시스템이 진공 유지 모드로 전환되거나 종료되어야 합니다.
이 파이프라인 압력 복구 프로세스의 중요성은 청결 이상으로 확장됩니다. 또한 펌핑 시스템의 기계적 무결성을 보호합니다. 회전 날개 펌프는 밀봉, 윤활 및 냉각을 위해 진공 오일을 사용합니다. 급격한 압력 차이로 인해 오일 이동, 거품 발생 또는 역류가 발생할 수 있습니다. 압축실에서 내부 윤활 없이 작동하는 루츠 펌프는 특히 배압 펌프 오일로 인한 오염에 취약합니다. 격리하기 전에 압력을 안정화함으로써 작업자는 마모를 줄이고 펌프 고착을 방지하며 유지 관리 빈도를 최소화합니다.
단일-펌프 러핑 시스템과 비교하여 로터리 베인과 루츠 펌프 조합은 산업용 코팅 사이클에서 더 높은 펌핑 속도, 더 짧은 펌프 정지 시간, 더 짧은{1}}안정성을 제공합니다. 그러나 이렇게 더 높은 성능을 얻으려면 더 엄격한 운영 규율도 필요합니다. 파이프라인 환기, 밸브 시퀀싱 및 건조 가스 보호는 선택 사항이 아닙니다. 이는 프로세스 설계의 필수적인 부분입니다.
산업 관점에서 코팅 기술이 더 높은 정밀도와 더 얇은 필름으로 발전함에 따라 오염 제어가 점점 더 중요해지고 있습니다. 미량의 오일 증기도 증착된 층의 접착력, 광학 성능 또는 전기적 특성에 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 표준화된 황삭 공정은 이제 진공 코팅 생산에서 품질 관리의 일부로 간주됩니다.
요약하자면, DLT.2V80 2{2}단계 펌프와 루츠 펌프 조합을 사용하는 러핑 단계는 단순한 사전-진공 단계 이상입니다. 이는 단계적 펌핑, 밸브 격리, 건조 가스 배출 및 압력 안정화를 포함하여 신중하게 제어되는 프로세스입니다. 이러한 운영 지침을 따르면 깨끗한 진공 상태를 보장하고 중요한 펌프 구성 요소를 보호하며 긴 생산 주기에 걸쳐 일관된 코팅 성능을 보장합니다.